[发明专利]制作漫反射板的方法及漫反射板在审
申请号: | 202110596964.7 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113325499A | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 张云雪;宋丹;何玉国;黄安琳 | 申请(专利权)人: | 宁波市知行光学科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/02 | 分类号: | G02B5/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 钟扬飞 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请公开了一种制作漫反射板的方法及漫反射板,涉及标定板的技术领域,本申请的制作漫反射板的方法,包括在基板上生成一层漫反射层;在漫反射层上镀膜,形成待刻蚀膜层;在待刻蚀膜层上进行涂胶、曝光和显影,形成初始图案;根据所述初始图案刻蚀所述待刻蚀膜层,形成图案层,得到漫反射板。故本申请相比于现有技术,加工周期短、加工成本低,成品精度高,且增强了标定板表面的漫反射现象,减小了镜面反射对标定结果的影响,从而提高了标定的精度。 | ||
搜索关键词: | 制作 漫反射 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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