[发明专利]一种光栅俯仰角度定心微调装置有效
申请号: | 202110588494.X | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113540975B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 郭裕聪;朱兴邦 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
主分类号: | H01S5/14 | 分类号: | H01S5/14 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 马千会 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于半导体技术领域,涉及外腔式的可调谐激光光源中光栅俯仰角度定心微调装置。一种光栅俯仰角度定心微调装置,包括调节支架、压电陶瓷;所述压电陶瓷竖直设置在所述调节支架内;所述调节支架的上部和下部之间设有柔性铰链结构;所述柔性铰链结构的转动中心与光栅平面、光路平面重合。本发明的装置,光栅平面、光路平面和柔性铰链的转动中心重合,从而使光栅在进行俯仰角度调节时,不改变光栅在光路中的位置,不会引起外腔光路腔长的变化。光栅与调节支架胶接前不需要调节,仅需在本装置安装到外腔后通过压电陶瓷调节光栅俯仰角度一个变量;对操作人员要求低,仅需通过外部测量仪器观测外腔输出指标参数,确定合适的压电陶瓷电压即可完成调节。 | ||
搜索关键词: | 一种 光栅 俯仰 角度 定心 微调 装置 | ||
【主权项】:
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