[发明专利]一种氮化硼表层覆盖的NV色心金刚石、其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110581430.7 申请日: 2021-05-27
公开(公告)号: CN113046725B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 李辉;申胜男;熊佳豪;沈威 申请(专利权)人: 武汉大学深圳研究院
主分类号: C23C16/34 分类号: C23C16/34;C23C16/455;C23C16/02;C23C16/27
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 李炜
地址: 518057 广东省深圳市南山高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种氮化硼表层覆盖的NV色心金刚石、其制备方法和应用。本发明提供的方法采用金刚石(111)面,通过MPCVD工艺制作完成。本发明制备的面向NV色心的氮化硼覆盖的金刚石表面具有正电子亲和能,NV色心取向优势,无禁带中间能级,表面无磁性等优点。这些优点可以弥补金刚石本身的缺陷,从而更好的运用于量子传感领域。本发明基于第一性原理和密度泛函理论,详细论述了面向NV色心的氮化硼覆盖的金刚石表面的具体优势。本发明制备的氮化硼覆盖金刚石表面,为金刚石用于量子传感提供了一种全新的方法和思路。
搜索关键词: 一种 氮化 表层 覆盖 nv 色心 金刚石 制备 方法 应用
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