[发明专利]一种氮化硼表层覆盖的NV色心金刚石、其制备方法和应用有效
申请号: | 202110581430.7 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN113046725B | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 李辉;申胜男;熊佳豪;沈威 | 申请(专利权)人: | 武汉大学深圳研究院 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C16/455;C23C16/02;C23C16/27 |
代理公司: | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人: | 李炜 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种氮化硼表层覆盖的NV色心金刚石、其制备方法和应用。本发明提供的方法采用金刚石(111)面,通过MPCVD工艺制作完成。本发明制备的面向NV色心的氮化硼覆盖的金刚石表面具有正电子亲和能,NV色心取向优势,无禁带中间能级,表面无磁性等优点。这些优点可以弥补金刚石本身的缺陷,从而更好的运用于量子传感领域。本发明基于第一性原理和密度泛函理论,详细论述了面向NV色心的氮化硼覆盖的金刚石表面的具体优势。本发明制备的氮化硼覆盖金刚石表面,为金刚石用于量子传感提供了一种全新的方法和思路。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 表层 覆盖 nv 色心 金刚石 制备 方法 应用 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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