[发明专利]一种用于控制抛光压力的承载头及其使用方法在审
| 申请号： | 202110551366.8 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113263438A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徐志强;王晓东;唐志发;陈柯文;陈峰;薄新谦;张高峰;姜胜强 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/005;B24B37/30;B24B37/34;B24B49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411105 湖南省湘潭*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于控制抛光压力的承载头及其使用方法，包含：基座组件及与所述基座组件配合的压力控制组件。所述基座组件包含：上承载体和下承载体，其中所述上承载体被固定至可旋转的驱动轴，使整个承载头旋转，所述下承载体可竖直移动，以向下施加载荷；所述压力控制组件包含：支撑膜、与支撑膜同心配合的含磁性粒子的智能材料模块及电磁体，其中当存在外加磁场时，该智能材料模块的弹性模量以及硬度会发生改变；通过控制磁场强度，可使智能材料模块产生期望的硬度变化；通过各组件的配合，可以实现晶圆中心到边缘的抛光压力控制，故可实现晶圆中心到边缘的表面去除率一致。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 控制 抛光 压力 承载 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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