[发明专利]一种行波天线等离子体源有效
| 申请号： | 202110551062.1 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113301702B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 李清;朱光辉;孙玄 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种行波天线等离子体源，由六个环形天线构成，放在真空室外；前端的第一个天线接射频源作为电源馈入端，中间四个天线短路作为耦合端，末端天线接50Ω假负载作为吸收端。本发明可以获得高耦合效率且反射低的射频等离子体源，耦合效率可以达到100％，反射功率可以降到零。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行波天线 等离子体 | ||
【主权项】：
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