[发明专利]一种LPCVD工艺用石英制品制造丘陵状表面的方法在审
| 申请号： | 202110509443.3 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113149450A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 步东浩 | 申请（专利权）人： | 沈阳偶得科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00;C03B20/00;C09K13/08 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 马维骏 |
| 地址： | 110117 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于光伏行业用石英部件表面处理的技术领域，尤其涉及一种LPCVD工艺用石英制品制造丘陵状表面的方法。本发明的制备方法包括准备石英制品、清洗石英制品表面、配制酸性化学溶液、化学蚀刻、清洗石英制品表面、干燥、粗糙度检测等步骤。本发明制备的LPCVD工艺的石英制品其表面丘陵状均匀，提高了硅化合物对石英制品的附着性，同时不会引起沉积在石英制品上的硅化合物的剥离，减少颗粒污染，并且延长石英制品使用寿命，满足光伏行业需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lpcvd 工艺 石英 制品 制造 丘陵 表面 方法 | ||
【主权项】：
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