[发明专利]一种双MZ结构的低串扰光开关及光开关阵列有效
| 申请号： | 202110478692.0 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113238324B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王菲;许崇前;尹悦鑫;张大明;王希斌;孙小强 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/12 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于片上硅基光电子学的双MZ结构的低串扰光开关及光开关阵列，属于集成光电子器件技术领域。由第一输入波导、第二输入波导、第一级2×2马赫泽德干涉仪、第二级2×2马赫泽德干涉仪、第一输出波导、第二输出波导和波导交叉单元组成；上述结构位于同一层，或第二输入波导、第一级2×2马赫泽德干涉仪、第一输出波导位于同一层，第一输入波导、第二级2×2马赫泽德干涉仪、第二输出波导位于另一层；进而由其可以构建N×N单层双MZ结构的低串扰光开关阵列和M×N×N多层光开关阵列。本发明可以构成多层结构光开关阵列，节约了面积，提高了器件的集成度；本发明基于标准的硅基平面集成光波导制作工艺，生产成本低，性能优越。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mz 结构 低串扰光 开关 阵列 | ||
【主权项】：
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