[发明专利]一种基于体振动的翻转倾斜检测结构有效
| 申请号： | 202110474727.3 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113237621B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 杨珊;占瞻;马昭;阚枭;李杨;黎家健;洪燕;陈秋玉 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02 |
| 代理公司： | 深圳三用知识产权代理事务所(普通合伙) 44859 | 代理人： | 金晶 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括基底；锚点结构，固定于所述基底；星形振动结构，悬置于所述基底上并与所述锚点结构机械耦合，所述星形振动结构的外轮廓为正6N角星，N为≥2的正整数；至少两个面内换能器，用于实现该检测结构平面内的机械场与电场的耦合；至少两个面外换能器，用于实现该检测结构平面外的机械场与电场的耦合；其中，所述检测结构工作在两个体振动模态中，两个所述体振动模态包括工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个所述体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 振动 翻转 倾斜 检测 结构 | ||
【主权项】：
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