[发明专利]一种柔性压电超声波换能器有效
| 申请号： | 202110460785.0 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113182157B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 郭希山;张京;郑音飞 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性压电超声波换能器，包括背衬层、底电极、压电层、顶电极、匹配层。所述背衬层采用掺钨粉的环氧树脂制备；所述底电极制备材料为延展性金属铜，具有柔性特点；压电层材料为锆钛酸铅薄膜，匹配层材料为笼型聚倍半硅氧烷(POSS)改性环氧树脂；顶电极为钛‑铜薄膜。本发明具有带宽大、体积小、可阵列化、易批量制备等优点。本发明的背衬层采用环氧树脂掺钨粉制备，可以减少超声波反射造成的干扰。所述匹配层采用笼型聚倍半硅氧烷(POSS)改性环氧树脂材料，可以提高换能器的频宽，提升超声图像横向分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压电 超声波 换能器 | ||
【主权项】：
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