[发明专利]参数动态控制方法及装置、电子设备和存储介质在审
| 申请号： | 202110429267.2 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113126485A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 刘文奇 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开是关于一种参数动态控制方法及装置、电子设备以及计算机可读存储介质，涉及工业制造技术领域，可以应用于对半导体制造工艺中的工艺过程参数进行动态监控的场景。该方法包括：确定制造工艺过程中待监测对象的对象监控参数；基于待监测对象的对象基本属性确定待监测对象的对象变化曲线；根据对象变化曲线同步调整对象监控参数。本公开可以根据被监测数据的变化规律动态调整工艺稳定性的监控参数，从而实现对非固定参数的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 参数 动态控制 方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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