[发明专利]一种氧化锌铝靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110417139.6 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113213913A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;张来稳;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/63 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;王朝毅 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种氧化锌铝靶材的制备方法，包括步骤：(1)将氧化锌、氧化铝、分散剂、粘结剂和水制备为混合浆料并消泡；并且控制浆料中氧化锌、氧化铝的平均粒径和粒径均一性；(2)将步骤(1)得到的混合浆料进行喷雾造粒，混料，并且控制氧化锌铝粉末的平均粒径和粒径均一性；(3)将步骤(2)得到的氧化锌铝粉末压力成型得到氧化锌铝靶坯；(4)将步骤(3)得到的氧化锌铝靶坯于1300～1500℃烧结。本发明的氧化锌铝靶材的制备方法通过将氧化锌、氧化铝与分散剂、粘结剂制备为浆料，并且喷雾造粒并压制靶坯，通过控制氧化锌铝粉末、氧化铝、氧化锌的粒径以及均匀性显著改善了氧化锌铝靶材的品质，提高了氧化锌铝靶材的成分均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 铝靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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