[发明专利]一种高纯镓粒的制备方法在审
申请号: | 202110387746.2 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN113102763A | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 李清宇;黄杰杰;何志达;朱刘 | 申请(专利权)人: | 清远先导材料有限公司 |
主分类号: | B22F9/08 | 分类号: | B22F9/08 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李琼芳;肖小龙 |
地址: | 511500 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及高纯金属技术领域,公开了一种高纯镓粒的制备方法。具体包括以下步骤:(1)提供制备高纯镓粒的装置;(2)将高纯镓放入手套箱,置于加热板上,使镓熔化待用;(3)对制粒管抽真空,再充氮气或惰性气体,取下制粒管顶部盲板,然后将漏斗放置在制粒管顶部;(4)开启循环冷却系统,使液体冷却剂充满产品收集槽和制粒管;(5)在手套箱内操作将镓液倒入漏斗中,使镓液滴入冷却剂中,在沉降过程冷凝成粒;(6)制粒完成后,将产品收集槽中的镓粒和冷却剂分离,镓粒放入手套箱过渡仓中抽真空、干燥,再进入主箱体中包装,得高纯镓粒产品。采用本发明方法能够制得氧含量低于1ppm,粒径为1~10mm、大小均匀,满足半导体掺杂要求的高纯镓粒。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 制备 方法 | ||
【主权项】:
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