[发明专利]基于丝网印刷的亚微米压印设备及其控制方法在审
| 申请号： | 202110385026.2 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113050371A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈燕平;偰正才;阮双琛;翟剑庞 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507 | 代理人： | 张传义 |
| 地址： | 518057 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种基于丝网印刷的亚微米压印设备及其控制方法，所述压印设备包括丝网印刷机本体、压印平台、可加热压印头、网框和印版；压印平台设置在丝网印刷机本体上，用于承载待压印的基片；可加热压印头设置在丝网印刷机本体上；网框设置在丝网印刷机本体上，且位于压印平台的上方；印版设置在网框上，并包括亚微米级的图案，在设备工作时，控制可加热压印头的温度在预设温度范围内，并通过丝网印刷机本体的控制系统控制可加热压印头对印版施加压力并运动以实现刮印，以将印版上的亚微米级的图案压印到基片上的压印胶上，由此解决了纳米压印技术中压印面积较小，效率较低的问题，实现了亚微米级精度的大面积压印。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 丝网 印刷 微米 压印 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳技术大学，未经深圳技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110385026.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防脱落的数据线接口
- 下一篇：钻杆键条浮动对中装置
