[发明专利]一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110369810.4 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113106542B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 武彪;冯加贵;熊康林;陈建;孙骏逸;黄永丹;朱博杰;丁孙安;陆晓鸣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B29/02;G06N10/20 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括：将Si(111)衬底依次进行有机清洗、RCA1清洗、RCA2清洗、piranha溶液清洗及HF清洗，获得预处理后的Si(111)衬底；在真空条件下，将所述预处理后的Si(111)衬底置于分子束外延装置中表面处理，采用分子束外延技术在所述Si(111)衬底表面生长铝单晶薄膜，获得大面积铝单晶薄膜。本发明制备的Si(111)/Al单晶薄膜，与Si衬底传统工艺相比，实现了大面积Al单晶薄膜，没有孪晶，更可明显减少Si/Al界面C、H、O杂质含量，将谐振器本征品质因子提升到10 |
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| 搜索关键词： | 一种 大面积 铝单晶 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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