[发明专利]三轴微机械陀螺仪及角速度的测量方法在审
| 申请号： | 202110362578.1 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113091722A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 马昭;占瞻;杨珊;阚枭;李杨;陈秋玉;洪燕;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663;G01C19/5649 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三轴微机械陀螺仪及角速度的测量方法，包括基底、与基底连接且悬置于基底上的振动部、驱动振动部的驱动电极以及与振动部连接的检测部，振动部包括用于接受哥氏力并产生位置变化的振动组件，振动组件包括两两对称分布且互相连接的四个质量块，四个质量块能够在所述驱动电极的驱动下在平行于基底的平面内进行摆动，每一质量块的摆动中心位于质量块之外，当三轴微机械陀螺仪接收到角速度时，摆动的质量块受到哥氏力并产生相应的位置变化，检测部用于检测每一质量块在受到哥氏力后的位置变化，并将各质量块的位置变化转换成电信号输出。本发明的三轴微机械陀螺仪可以获得更高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 陀螺仪 角速度 测量方法 | ||
【主权项】：
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