[发明专利]一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构在审
| 申请号： | 202110339688.6 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN112938439A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张明德;汤家云;刘庆峰;陈培峰;罗梁 | 申请（专利权）人： | 扬州国兴技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/64 | 分类号： | B65G47/64 |
| 代理公司： | 江苏海联海律师事务所 32531 | 代理人： | 王燕凤 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多腔体等离子处理自动上下料系统的输送机构，设有至少两个等离子处理腔体、送料区和转接区，台车推入或拉出等离子处理腔体；输送腔体内设有抬升或下降台车的升降机。等离子处理单槽台车的输送系统利用升降机、滚珠滑轨和输送滚轮台的配合，解决现阶段等离子处理全自动输送系统中存在的由于水平输送和垂直输送之间输送机构导致的输送干涉问题，同时可以让台车和升降台之间能够实现自由分离，在台车处于等待期间，升降台可以继续上升或下降，缩短基板处理时台车的等待时间，提高等离子处理系统整体的处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多腔体 等离子 处理 自动 上下 系统 输送 机构 | ||
【主权项】：
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