[发明专利]一种微波等离子体去胶设备有效
| 申请号： | 202110331633.0 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113070288B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 万军;邱晨光;张志勇;蔡晋辉;刘依婷;乔瓛 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波等离子体去胶设备，包括微波装置、去胶装置、机架，进气法兰、抽气法兰、真空计，所述微波装置包括微波模块、微波屏蔽罩、石英腔，所述去胶装置包括主腔体、转接装置、高密金属网组合件、加热盘、腔门，腔门通过铰链与主腔体相连，主腔体固定在机架上，微波模块与微波屏蔽罩相连，石英腔位于微波屏蔽罩内，通过法兰固定在主腔体上表面，转接装置与石英腔通过法兰相连，进气法兰位于微波屏蔽罩上表面，抽气法兰位于主腔体下表面。将样品放置于加热盘上，关闭腔门，抽真空，充入气体，进行微波等离子体去胶，可根据样品胶量的多少调节到达样品表面的等离子体强度，低损伤、去胶效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
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