[发明专利]石墨基板

摘要

本公开提供了一种石墨基板，属于半导体技术领域。所述石墨基板为圆盘，所述石墨基板为圆盘，所述石墨基板具有相对的上表面和下表面，所述上表面上具有多个用于容纳外延片的凹槽，所述石墨基板的下表面上具有多个弧形凹坑，所述多个弧形凹坑与所述多个凹槽一一对应，每个所述凹槽在所述上表面上的正投影均为圆，每个所述弧形凹坑在所述上表面上的正投影均为圆弧，且所述圆弧位于对应的所述圆的圆周上，所述圆弧为所述圆上距离所述石墨基板的中心线距离最远的一段圆弧。在本公开提供的石墨基板上生长外延片，可以缓解衬底圆边处由于离心力大导致的生长温度较高的问题，保证在衬底上形成的各个外延片的波长均匀性。