[发明专利]石墨基板

权利要求书

1.一种石墨基板，所述石墨基板（100）为圆盘，所述石墨基板（100）具有相对的上表面（100a）和下表面（100b），所述上表面（100a）上具有用于容纳外延片的多个凹槽（110），其特征在于，所述石墨基板（100）的下表面（100b）上具有多个弧形凹坑（120），所述多个弧形凹坑（120）与所述多个凹槽（110）一一对应，每个所述凹槽（110）在所述上表面（100a）上的正投影均为圆，每个所述弧形凹坑（120）在所述上表面（100a）上的正投影均为圆弧，且所述圆弧位于对应的所述圆的圆周上，所述圆弧为所述圆上距离所述石墨基板（100）的中心线距离最远的一段圆弧，所述圆弧对应的圆心角为30°~120°，

从所述石墨基板（100）的中心至所述石墨基板（100）的边缘方向，所述多个弧形凹坑（120）的深度逐渐加深，所述多个弧形凹坑（120）的宽度逐渐增大，所述多个弧形凹坑（120）的深度与所述多个弧形凹坑（120）的宽度呈正相关，多个所述弧形凹坑（120）的宽度D由0.5mm逐渐增大至2mm，多个所述弧形凹坑（120）的深度L由50mm逐渐加深至100mm，多个所述弧形凹坑（120）的深度L的加深幅度为10~20nm，即相邻两圈所述弧形凹坑（120），外圈所述弧形凹坑（120）的深度比内圈所述弧形凹坑（120）的深度深10~20mm。

2.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，所述圆弧对应的圆心角为45°。