[发明专利]一种可定位薄区位置的透射电镜样品制备装置及方法有效
| 申请号： | 202110266694.3 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113092506B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 尤泽升;王振宇;鲍伟康 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N1/32 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 张玲 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于材料测试领域，具体为一种可定位薄区位置的透射电镜样品制备装置和方法。包括电化学反应单元，原位观察单元，样品安装单元，抛光定位单元，图像采集单元和控制系统；电化学反应单元采用阴极抛光针对与阳极连接的样品的电解抛光；原位观察单元用于观察样品的侧面和正面，确定并定位阴极抛光针相对样品表面的距离；试样安装单元用于安装样品，并调节样品的位置；抛光定位单元用于调节阴极抛光针相对于样品表面的位置和距离；图像采集单元用于采集样品的实时图像并显示于控制系统。本发明具有在局部电解抛光过程中不会引入离子注入的特点，可以实现对于需要抛光区域进行精准定位等优点，为微尺度样品的结构表征提供新的样品制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定位 区位 透射 样品 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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