[发明专利]载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法在审
| 申请号： | 202110261917.7 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113406471A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法。抑制将由热膨胀率互不相同的材料形成的构件接合而成的载置台的翘曲。载置台供基板载置，包括：顶板部，在其表面载置基板；光照射机构，其具有多个发光元件，以与载置于顶板部的基板相对的方式配置，利用来自发光元件的光加热基板；以及流路形成构件，其以介于顶板部与光照射机构之间的方式与顶板部的背面接合，在其与顶板部之间形成供能使来自发光元件的光透过的制冷剂流动的制冷剂流路，流路形成构件能使来自发光元件的光透过，顶板部和流路形成构件由热膨胀率互不相同的材料形成，载置台还包括利用能透光的物质或能被流路形成构件吸收的波长的光调节流路形成构件的温度的温度调节部。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 检查 装置 以及 抑制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110261917.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
