[发明专利]多维力传感器有效
申请号: | 202110258114.6 | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN113029418B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 李正伟;程龙;侯增广;谭民;李厚成 | 申请(专利权)人: | 中国科学院自动化研究所 |
主分类号: | G01L5/166 | 分类号: | G01L5/166 |
代理公司: | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人: | 郭文浩;尹文会 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于传感器领域,具体涉及一种多维力传感器,旨在解决现有多维力传感器维间耦合程度高、不具备柔性特性、成本高、工艺复杂等问题。本发明多维力传感器包括依次连接的顶盖、感应单元和壳体,所述底壳与顶盖之间形成有容纳空间;光源和光敏传感器组分别装设于顶盖和壳体的两相对面,光敏传感器组与光源相间分布。光敏传感器的光敏区域接收光源的光;当有力或力矩作用于壳体和顶盖之间时,光敏传感器接收到的光强会不同程度的变化。本发明多维力传感器可以通过将感应单元设置为柔性材料以实现将传感器设计成柔性器件,传感器维间耦合低、结构简单、制作成本低、易于批量化生产。 | ||
搜索关键词: | 多维 传感器 | ||
【主权项】:
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