[发明专利]灰度值有效性分析方法、装置、电子设备以及存储介质有效
| 申请号： | 202110254919.3 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113012120B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 李承启;张海琼;托马斯·扎农;拉克什·瓦利舍伊;毛宏坤;杨一鸣 | 申请（专利权）人： | 普迪飞半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/33;G06T7/90 |
| 代理公司： | 上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343 | 代理人： | 李茂林;徐海晟 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种灰度值有效性分析方法、装置、电子设备以及存储介质，其中的方法包括：获取目标灰度图，所述目标灰度图中包括多个参考区块与多个目标区块；其中：灰度表征了裸片对应位置的测试点接受到电子束照射时的实际扫描结果；其中的至少部分参考区块为GND参考区块；所述实际扫描结果用于描述对应测试点实测的电连接状态；根据离散的N个GND参考区块的灰度，模拟GND参考区块的灰度随位置的连续变化，得到GND灰度模拟信息；根据所述GND灰度模拟信息，确定所述目标区块的灰度相对于匹配位置GND模拟灰度的差异，得到目标差异信息；根据所述目标差异信息，确定所述目标测试点的电连接状态；本发明提高了测试结果的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 灰度 有效性 分析 方法 装置 电子设备 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
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