[发明专利]一种基于玻璃切割技术的精密平台精度计量与补偿方法有效
| 申请号： | 202110252766.9 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN112945102B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 段光前;文韬;黄树平;童杰 | 申请（专利权）人： | 武汉先河激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 吴静 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市江夏区经济开*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于玻璃切割技术的精密平台精度计量与补偿的方法，将激光器发出的光源经光学系统准直和扩束后通过图形发生器，导入特定的图形到可编辑的连接控制器的图形发生器中，再经过倾斜的分束镜，通过透镜组并聚焦，再经过激光切割头切割，移动精密平台，使得导入的图形依次有规律标刻在玻璃基板上，并通过二次元测量工具对玻璃基板上的标记点进行测量，获得对应点的坐标，图形经分束镜反射到CCD相机中，再由图像处理器件保存得到的图形并记录数据，获得二维数据表。本发明以合适的激光器和切割头可以组成测量仪器，耗材采用价格便宜的玻璃基板，将测量头安装在Z轴上，当精密平台移动，可以自动化完成标记工作，使用简单并且价格便宜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 玻璃 切割 技术 精密 平台 精度 计量 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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