[发明专利]基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪有效
| 申请号： | 202110252682.5 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN112857210B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 于亮;苏晓博;林雄磊;胡鹏程 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于阵列式探测器的单光束三自由度外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将共轴传输且频率不同的两个激光光束输入至迈克尔逊干涉结构，通过设置参考平面反射镜的角度使得测量光束和参考光束非共轴干涉并形成单光束外差干涉信号，选用阵列式探测器有效接收单光束外差干涉信号，最终通过三自由度解耦方法对单光束外差干涉信号实现三自由度信号线性解耦。本发明所述的激光干涉仪不存在角度解耦非线性，显著降低了周期非线性误差，相比于其他现有三自由度激光干涉仪同时兼具结构简单、角度测量范围大和易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移及角度测量的高精度需求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 阵列 探测器 光束 自由度 外差 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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