[发明专利]利用飞秒激光在材料基体上加工纳米电极的系统和方法

摘要

本发明属于飞秒激光应用技术领域，尤其涉及一种利用飞秒激光在材料基体上加工纳米电极的系统和方法。本发明系统包括长焦高倍物镜、高精度三维运动平台、吹气系统等关键部分。长焦高倍物镜将激光光斑聚焦为亚微米级别，使加工线宽达到百纳米级别，从而实现纳米电极的加工，高精度三维运动平台定位精度高，保证扫线的直线度在纳米尺度的加工中符合加工要求，吹气系统能去除加工过程中产生的材料碎屑，减少材料碎屑的堆积。本发明方法通过飞秒激光直写加工，烧蚀去除扫描区域内的材料，实现在二维材料基体上加工纳米电极。本发明系统和方法，可以灵活、快速、精确地在二维材料基体上加工出多种纳米电极以及纳米电极阵列。