[发明专利]一种用于生长多种尺寸衬底可灵活测温的运动装置及方法在审
| 申请号： | 202110251610.9 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113046828A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 马思乐;张兴拓;孙文旭;余平;修向前;黄金;于敦政;马晓静 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/16;C30B29/40 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 董雪 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开公开的一种用于生长多种尺寸衬底可灵活测温的运动装置及方法，包括：设置多种尺寸衬底放置区的衬底托盘和与衬底托盘连接的连接件，连接件与旋转驱动单元连接，经旋转驱动单元带动旋转，旋转驱动单元固定于承片台上，承片台与升降驱动单元连接，由升降驱动单元带动升降，升降驱动单元和旋转驱动单元分别与控制器连接。实现了对衬底旋转升降运动的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生长 多种 尺寸 衬底 灵活 测温 运动 装置 方法 | ||
【主权项】：
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