[发明专利]一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法

摘要

本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种提高砷化镓太阳能电池光电转换效率的方法。本发明在电池表面旋涂光刻胶，通过选择不同图案的掩膜版，利用光刻机将紫外光透过掩模版辐照在附有光刻胶的电池表面，去除曝光区域的光刻胶，得到掩膜版上的图案，最后利用离子束刻蚀在电池表面制备出特定的微纳减反结构，从而降低电池表面的反射率,提高电池的光电转换效率。