[发明专利]一种掺钨氧化铟靶材的制备工艺在审
| 申请号： | 202110239045.4 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112919883A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 盖伟;贾泽夏;古建国;尹凯;张立新 | 申请（专利权）人： | 云南戊电靶材科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/626 |
| 代理公司： | 武汉聚信汇智知识产权代理有限公司 42258 | 代理人： | 马尚伟 |
| 地址： | 661000 云南省红河哈尼族彝*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种掺钨氧化铟靶材的制备工艺，包括：材料混合、研磨、形成浆料、造粒、成型和烧制等步骤，本发明提供的掺钨氧化铟靶材的制备工艺，主要原料由微米级WO |
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| 搜索关键词： | 一种 氧化 铟靶材 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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