[发明专利]一种划刀夹具、刻划装置及刻划装置的刻划方法在审
| 申请号： | 202110236286.3 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112976377A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘中华;杨国文;李颖;赵卫东;张继宇;魏文超 | 申请（专利权）人： | 度亘激光技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种划刀夹具、刻划装置及刻划装置的刻划方法，涉及半导体加工设备技术领域。该划刀夹具包括固定座和夹持机构，固定座上设有容置孔，夹持机构用于将刻划装置的划刀固定于容置孔内，划刀在容置孔内具有多个工作位，多个工作位用于使划刀的刃部相对固定座呈多个角度。该刻划装置包括划刀和上述的划刀夹具，其中，划刀的刃部伸出至划刀夹具的容置孔之外。该划刀夹具及刻划装置能够实现划刀的多角度划线，适用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹具 刻划 装置 方法 | ||
【主权项】：
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