[发明专利]一种自适应太赫兹反射式测量系统对焦装置在审
| 申请号： | 202110228548.1 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113030004A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 朱新勇;郭永玲;刘永利;张磊;王玉建;张朝惠 | 申请（专利权）人： | 青岛青源峰达太赫兹科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G01N21/01 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 付丽丽 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市崂山区九水东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自适应太赫兹反射式测量系统对焦装置，包括样品自适应调整台、样品自适应调整控制模块和太赫兹信号监测处理模块，样品自适应调整台置于第一聚焦透镜和第二聚焦透镜下侧且垂直于反射光路所在平面，太赫兹信号监测处理模块用于实时获取太赫兹时域光谱信号、确定待测样品需要检测的位置对应的太赫兹反射峰并将所述太赫兹反射峰强度实时发送给样品自适应调整控制模块，样品自适应调整控制模块与样品自适应调整台连接，用于根据接收到的太赫兹时域光谱信号调整样品自适应调整台上下运动，至待测样品需要检测的位置处于反射光路的焦点位置。其将人为调节改为自动调节，减少了操作人员调节的人力成本，很大程度的缩短了时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自适应 赫兹 反射 测量 系统 对焦 装置 | ||
【主权项】：
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