[发明专利]一种横向模式抑制的声表面波谐振器在审
| 申请号： | 202110227486.2 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113114154A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郝文昌;骆伟;赵广宏;焦海龙;张小辉;刘铁钢 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种横向模式抑制的声表面波谐振器，基片中心位置处设置有叉指换能器，叉指换能器两侧设置有第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵，叉指换能器和第一金属反射栅阵之间形成第一间隙，叉指换能器和第二金属反射栅阵之间形成第二间隙；叉指换能器两端汇流条处均连接输出引线；定义声孔径垂直方向为x轴，叉指换能器、第一金属反射栅阵、第二金属反射栅阵的上方汇流条在同一直线上，且该直线与x轴的夹角为偏向角，能流角在‑10°～+10°之间，偏向角与能流角不重合，且偏向角与能流角的角度差在‑20°～0°或0°～+20°之间。本发明采用与能流角不同的偏向角进行电极布局来抑制横向模式，无需增加复杂的设计和工艺，且可以保持器件的高Q值，提升声表面波谐振器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 横向 模式 抑制 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
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