[发明专利]一种金刚石生长的基片台结构及其使用方法有效
申请号: | 202110209128.9 | 申请日: | 2021-02-25 |
公开(公告)号: | CN112831835B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 余军火;王连忠;王斌;卢泽;杨成武 | 申请(专利权)人: | 廊坊西波尔钻石技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B25/12 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 侯巍巍 |
地址: | 065000 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本申请涉及单晶金刚石生长技术领域,尤其是涉及一种金刚石生长的基片台结构及其使用方法,其技术方案要点是:基片台结构包括钼片,钼片上设置有多个活动插销,活动插销向钼片的一端面外侧延伸,多个活动插销将钼片划分成多个籽晶生长区域;活动插销与钼片滑动连接;达到了方便将金刚石从基片台上取下以提高基片台的重复利用性,进而降低单晶金刚石生长的成本的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 生长 基片台 结构 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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