[发明专利]阵列光电芯片混合封装结构有效
申请号: | 202110202646.8 | 申请日: | 2021-02-23 |
公开(公告)号: | CN112946843B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 翟鲲鹏;王欣;孙文惠;袁海庆;白金花;李明;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 孙蕾 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种阵列光电芯片混合封装结构,所述结构包括:激光器、调制器、高频传输线、微带电路、光纤、衬底、金丝和光子引线;其中,将所述激光器通过所述光子引线与所述调制器相连,所述光纤通过所述光子引线与所述调制器相连,所述高频传输线通过所述金丝与所述微带电路相连;所述激光器、所述光纤分别设置在两个衬底上;所述高频传输线和所述微带电路位于所述调制器一侧。本发明的光子引线可实现任意方向、任意角度的光互联,减小波导弯折光损耗。同时,避免高频传输线发生弯折,减少高频线相连时的金丝长度,有效降低高频信号串扰。 | ||
搜索关键词: | 阵列 光电 芯片 混合 封装 结构 | ||
【主权项】:
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