[发明专利]静电消除器工作性能监测方法有效
申请号: | 202110172361.4 | 申请日: | 2021-02-08 |
公开(公告)号: | CN112986761B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 王荣刚;田俊阳;成玉磊 | 申请(专利权)人: | 苏州天华超净科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/12 | 分类号: | G01R31/12 |
代理公司: | 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 | 代理人: | 陈勐哲 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种静电消除器工作性能监测方法,包括静电消除器性能在线监测仪,所述静电消除器性能在线监测仪包括采集平板,且采集平板上设有自对地回路,能够将采集平板上的电压对地泄放掉;还包括以下步骤:将经过校准的静电消除器性能在线监测仪的采集平板安装在待监测的静电消除器内;在线监测静电消除器的工作状态是否正常;在线监测静电消除器的平衡电压衰减时间是否正常。本发明的监测方法能够监测静电消除器的离子衰减能力,监测衰减时间,判断静电消除器的离子消散能力是否减弱,从而实现对静电消除器工作性能的监测。 | ||
搜索关键词: | 静电 消除 工作 性能 监测 方法 | ||
【主权项】:
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