[发明专利]一种LED晶圆良率检测方法在审
| 申请号： | 202110154903.5 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112908884A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 竺时育;张梁;孙毅堂;陈云龙 | 申请（专利权）人： | 苏州众里数码科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L33/00;G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 周琼 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种LED晶圆良率检测方法，包括以下步骤：S1、利用机器视觉捕捉模块捕捉待检测晶圆上与工艺缺陷特征模块中相同的晶圆缺陷特征；S2、通过晶圆缺陷处理模块统计并记录下待检测晶圆的缺陷特征位置及缺陷数目，并用红框和绿框区分有无缺陷的位置，红框表示晶圆存在缺陷特征的位置，绿框表示晶圆无缺陷特征的位置。本发明中，相较于现有的需要切割晶圆后再通过人工目视检查晶圆的良率检测方法而言，本发明无需切割晶圆即可预判晶圆良率，避免晶圆切割封装才发现良率异常的情况发生，提高晶圆检查效率，使得晶圆检查效率可以紧跟制造速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 晶圆良率 检测 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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