[发明专利]三轴加速度传感器在审
| 申请号： | 202110089261.5 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN113156165A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 谢国伟;金怡;颜培力 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201899 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；所述传感器还包括：第一可动质量块、第二可动质量块、以及第三可动质量块。第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点的两侧。本发明通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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