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- [实用新型]流量传感器模块及流量计-CN202320007209.5有效
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王安康;颜培力;安兴;李嗣晗;罗英哲
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上海矽睿科技股份有限公司
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2023-01-03
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2023-08-08
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G01F15/00
- 本实用新型涉及一种流量传感器模块及流量计，流量传感器模块包括主体、传感器单元及单向阀。主体内形成有供流体通过的流体流道，单向阀处于常闭状态，并能够在流体由进口端流向出口端时开启。正常使用过程中，单向阀开启，流体在流体流道内由进口端向出口端流动，传感器单元能够顺利对流体进行检测。当流体流道内的流体停止流动或换向时，单向阀闭合，以防止流体在流体流道内倒流。灰尘等杂质一般从外部经出口端进入流体流道内，而单向阀则能够阻挡外部的杂质进入流体流道，从而维持流体流道的洁净，进而减少杂质在传感器单元的感测区域上的累积。因此，上述流量传感器模块及流量计的使用寿命和检测精度得到显著提升。
- 流量传感器模块流量计
- [发明专利]流量传感器模块及流量计-CN202211676187.8在审
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安兴;罗英哲;颜培力;李嗣晗;王安康
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上海矽睿科技股份有限公司
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2022-12-26
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2023-07-14
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G01F1/69
- 本发明涉及一种流量传感器模块及流量计，流量传感器模块包括主体、传感器单元及检测电极，检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，第一电极结构与第二电极结构之间形成有间隙结构。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，第一电极结构与第二电极结构之间的间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对检测电极的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极及传感器单元的感应区域的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。
- 流量传感器模块流量计
- [实用新型]流量传感器模块及流量计-CN202223484887.5有效
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安兴;罗英哲;颜培力;李嗣晗;王安康
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上海矽睿科技股份有限公司
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2022-12-26
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2023-06-27
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G01F15/06
- 本实用新型涉及一种流量传感器模块及流量计，流量传感器模块包括主体、传感器单元及检测电极，检测电极包括具有第一焊盘及第二焊盘，检测电极上形成有间隙结构，以使第一焊盘与第二焊盘之间不导通。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极及传感器单元的感应区域的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。
- 流量传感器模块流量计
- [实用新型]I2C总线系统-CN202122693081.6有效
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邹紧跟;颜培力
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上海矽睿科技股份有限公司
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2021-11-05
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2022-06-10
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G06F13/40
- 本实用新型涉及一种I2C总线系统，通过I2C总线系统包括：主器件，所述主器件具有N个通用输入/输出GPIO端口，每个所述GPIO端口用于模拟I2C总线通道，N为大于等于2的整数；多个从器件，每个所述从器件的时钟信号端口与所述主器件的N个GPIO端口中的一个电连接，串行数据端口与所述主器件的N个GPIO端口中的另一个电连接；解决了现有技术中采用I2C总线扩展芯片或者采用多路I2C总线对I2C总线进行扩展，存在占用系统资源多，扩展芯片的可重复利用性低和系统可靠性降低的问题，本实用新型提供的I2C总线系统在进行总线扩展时，配置方式更加灵活，连接方式更加简单，通信过程更加稳定可靠。
- i2c总线系统
- [发明专利]一种雾化装置-CN202210192494.2在审
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罗英哲;谢国伟;邹紧跟;颜培力
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上海矽睿科技股份有限公司
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2022-03-01
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2022-04-15
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A24F40/51
- 本申请提供一种雾化装置，基于气压检测模块的检测结果控制启动气流检测模块，然后，根据气流检测模块检测到的吸烟腔体的进气流量，控制雾化模块在单位时间内雾化出的烟雾量，由于吸烟腔体的进气流量与吸力相关，因此本申请提供的雾化装置可以根据吸力大小自动控制雾化模块在单位时间内雾化出的烟雾量，更加智能化，提升了用户体验的满意度，另外，控制模块在确定吸烟腔体内的气压变化值大于等于预设气压变化阈值时才控制启动气流检测模块，也即，气流检测模块不用长期处于工作状态，降低了雾化装置的整体耗电量，使得本申请提供的雾化装置兼具低功耗可长期待机及高精度雾化量控制的优点。
- 一种雾化装置
- [发明专利]深硅刻蚀形貌控制方法-CN202110955977.9在审
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徐伟;颜培力;张斌
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上海矽睿科技股份有限公司
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2021-08-19
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2022-01-04
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B81C1/00
- 本发明揭示了一种深硅刻蚀形貌控制方法，所述深硅刻蚀形貌控制方法包括：步骤S1、在硅片的版图结构上增加释放图形的设计结构,在硅片上的设定位置形成空腔结构；步骤S2、在经过步骤S1处理后的硅片上生长至少一层氧化层；步骤S3、将经过步骤S2处理的硅片与一裸硅晶圆键合，所述裸硅晶圆位于所述硅片的上方；步骤S4、通过深硅刻蚀将所述裸硅晶圆刻穿并停留在氧化层；步骤S5、将释放图形底部的氧化层腐蚀干净。本发明提出的深硅刻蚀形貌控制方法，可在实现相同的结构形貌的前提下实现梳齿结构无损伤，确保器件的性能可靠。
- 刻蚀形貌控制方法
- [实用新型]三轴加速度传感器-CN202120187055.3有效
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谢国伟;金怡;颜培力
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上海矽睿科技股份有限公司
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2021-01-22
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2021-11-02
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G01P15/18
- 本实用新型提供了一种三轴加速度传感器，包括：基板，固定设置于基板上的至少一个锚点，与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向，还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴转为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；第一质量块和第二质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本实用新型通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
- 加速度传感器
- [实用新型]三轴加速度传感器-CN202120190544.4有效
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谢国伟;金怡;颜培力
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上海矽睿科技股份有限公司
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2021-01-22
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2021-11-02
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G01P15/18
- 本实用新型提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；所述传感器还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；以及第三可动质量块，通过第三弹性元件与第一可动质量块连接，所述第三弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第三可动质量块可绕XZ平面转动；第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本实用新型通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
- 加速度传感器
- [发明专利]三轴加速度传感器-CN202110088009.2在审
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谢国伟;金怡;颜培力
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上海矽睿科技有限公司
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2021-01-22
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2021-07-23
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G01P15/18
- 本发明提供了一种三轴加速度传感器，包括：基板，固定设置于基板上的至少一个锚点，与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向，还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴转为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；第一质量块和第二质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本发明通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
- 加速度传感器
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