[发明专利]离子布植系统以及用于离子布植的气体运输的方法在审
| 申请号： | 202110088298.6 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN113140437A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 林弘青;涂纪诚;张一庭;吕超波;林琮闵 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67;H01L21/265;F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种离子布植系统以及用于离子布植的气体运输的方法。离子布植系统包括具有离子源单元的离子布植机和掺杂剂源气体供应系统。此系统包括位于远离离子布植机的气箱容器内部的掺杂剂源气体储存罐，以及用以将掺杂剂源气体从掺杂剂源气体储存罐供应到离子源单元的掺杂剂源气体供应管。掺杂剂源气体供应管包括内管、包围内管的外管、连接至相应的内管和外管的第一端的第一管转接器，以及连接至相应的内管和外管的第二端的第二管转接器。第一管转接器将内管连接到掺杂剂源气体储存罐，而第二管转接器将内管连接到离子源单元。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 系统 以及 用于 气体 运输 方法 | ||
【主权项】：
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