[发明专利]一种玻璃组件键合的方法

摘要

本发明属于光学组件技术领域，特别涉及一种玻璃组件键合的方法。本发明先将玻璃元件进行氩气‑氧气等离子体处理，利用氩离子大的轰击作用，在玻璃表面打开Si‑O键、Al‑O键和B‑O键，同时氩气‑氧气混合气体中的氧可以进一步去除玻璃表面残留的污染物和改善玻璃表面亲水特性，玻璃表面形成悬挂键Si‑O键、Al‑O键和B‑O键，有利于后续在玻璃表面引入H+基团和OH‑基团，对活化的玻璃表面钝化，同时为自发键合提供条件；然后进行氩气‑水蒸气等离子体处理，氩气辅助水蒸气的分解，形成的H+基团和OH‑基团进入悬挂键断裂形成的活性位置，引入亲水基团同时将表面钝化，避免空气中的污染物吸附表面和提高玻璃表面键合强度。