[发明专利]一种低功耗的绿色环保屏的TFT基板制作工艺在审
| 申请号： | 202110051146.9 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112885779A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 吴汝健;李建华 | 申请（专利权）人： | 广州易博士管理咨询有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308 | 代理人： | 赵晨宇 |
| 地址： | 511458 广东省广州市南沙区丰泽东路106*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种低功耗的绿色环保屏的TFT基板制作工艺，涉及显示屏领域。一种低功耗的绿色环保屏的TFT基板制作工艺，包括如下步骤：在玻璃板上形成多晶硅有源层，在上述多晶硅有源层上覆盖栅极绝缘层，将上述栅极绝缘层通过F型离子掺杂形成F型阱，在上述F型阱中通过PMOS轻掺杂注入形成PMOS器件漏轻掺杂结构，对上述PMOS器件漏轻掺杂结构进行掺氮处理，在上述栅极绝缘层上形成第一栅极和源漏极。本发明能够使环保屏更省电，并延长环保屏的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功耗 绿色 环保 tft 制作 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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