[发明专利]一种光器件在审
| 申请号： | 202110050446.5 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112859387A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 杨妍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光器件，涉及光器件技术领域，用于降低加热电极对光波导进行加热时的加热功耗，从而提高光器件的工作性能。该光器件包括：基底、以及形成在基底内的光波导和加热电极；光波导为蛇型光波导，光波导包括多个第一波导部、以及至少一个第二波导部；多个第一波导部沿着光波导的宽度方向分布在基底内；相邻两个第一波导部通过相应第二波导部相连；加热电极位于多个第一波导部的上方，加热电极的长度小于或等于多个第一波导部中的最大长度，加热电极用于加热多个第一波导部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 | ||
【主权项】：
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