[发明专利]一种扫描误差自修正的白光干涉测量方法有效
| 申请号： | 202110023324.7 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112665509B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 刘乾;崔凯华;黄小津;张辉;李璐璐 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/25 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种扫描误差自修正的白光干涉测量方法，包括以下步骤：使用白光干涉测量装置采集干涉图；使用清晰度算子计算干涉图的清晰度，并标记有效干涉图；将有效干涉图重新编号，并划分成P组；计算每组有效干涉图上像素点沿序号方向的灰度变化，将像素点标记为有效像素点；采用相移计算方法计算相移步进值；根据相移步进值，计算扫描高度；再计算每组特征干涉图上每个像素点的调制度和相位；最后，计算此处像素点的高度。采用本方案，能够高精度计算白光干涉测量中的实际扫描步长，并对扫描步长引起的测量误差进行有效补偿，获得了相当高的精度，且本发明能够处理白光干涉测量的中高频扫描误差，且不依赖于硬件的改进，具有较高的经济性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 误差 修正 白光 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，未经中国工程物理研究院机械制造工艺研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110023324.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
