[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 202110022090.4 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112877651A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘金彪;肖昂;李海博;罗楠;徐天宇;黄秦霏;胡斌;加新星;晋亚杰;李靖;刘文豪;姬磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：储存罐和喷嘴，储存罐包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；喷嘴设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。本公开提供的蒸镀装置，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110022090.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
