[发明专利]X射线传感器的制备方法及X射线传感器

摘要

本申请公开了一种X射线传感器的制备,包括：提供衬底基板；在衬底基板上制备第一有源层和第二有源层；在第一有源层上方制备第一源漏极，在第二有源层上方制备第二源漏极，第一源漏极的漏级和第二源漏极的源级连接，第一源漏极和第一有源层形成欧姆接触，第二源漏极和第二有源层形成欧姆接触；在第一源漏极和第二源漏极上方制备绝缘层，绝缘层覆盖第一有源层、第二有源层、第一源漏极和第二源漏极；在绝缘层上方与第一有源层和第二有源层对应的区域，分别制备与第一有源层对应的第一栅极层，与第二有源层对应的第二栅极层。该方法减少光接收面积，提高X射线传感器的分辨率；去除光阻挡层，减少制程数，降低成本，减小传感器的尺寸。