[发明专利]低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法在审
| 申请号： | 202080069063.6 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN114555943A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 谷津贵裕;木村敏之 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B37/16;B01D53/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的低温泵(10)具备：不燃性吸附材料(64)；及控制器(100)，所述控制器为了开始低温泵(10)的真空排气运转依次执行如下步骤：通过使不燃性吸附材料(64)在室温或比其更高的温度下暴露于干燥环境，使不燃性吸附材料(64)脱水；不燃性吸附材料(64)的脱水之后，对不燃性吸附材料(64)的周围环境进行真空排气；及在真空环境下将不燃性吸附材料(64)冷却至超低温。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 运转 开始 方法 | ||
【主权项】：
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- 杨杨;邓家良;武义锋;曾环;冯欣宇;王建勇;韩雨松;程祥 - 安徽万瑞冷电科技有限公司
- 2022-11-15 - 2023-02-03 - F04B37/08
- 本发明公开了一种低温泵设备及其运转方法，包括GM制冷机、壳体、控制部件、压缩机单元、连接管路，所述连接管路包括与壳体连通的吹扫管路和抽空管路，所述吹扫管路和抽空管路上均设有控制阀门，所述GM制冷机设于壳体内，且GM制冷机包括一级冷却台、二级冷却台以及驱动电机。本发明中，通过在控制部件根据温度传感器反馈的温度调节低温泵的驱动电机的转速，根据转速的调节达到控制设定的温度目标值。控制部件在低温泵再生过程中进行自动再生，压缩机通过自身控制单元与低温泵控制部件信息交互获取低温泵再生状态，在升温阶段提高压缩机的运行压力差，提高了低温泵的绝热压缩效率，加快再生升温阶段的速度。
- 一种应用于半导体低温泵气缸中部固定装置-202222655604.2
- 崔汉博 - 上海优尊真空设备有限公司
- 2022-10-10 - 2023-01-17 - F04B37/08
- 本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵气缸中部固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括底座和稳定块，所述稳定块通过焊接方式安装在底座顶部；所述稳定块呈矩形状结构，所述稳定块为钢铁材质，所述稳定块顶部设有驱动孔，所述驱动孔上下两端均贯通式结构，所述驱动孔口径大于配合使用气缸伸出端口径，所述驱动孔内安装有滑动套筒，所述滑动套筒上下两端均为贯通式结构且为不锈钢材质。该种种应用于半导体低温泵气缸中部固定装置可以十分便捷对气缸的驱动端进行限位，从而在上升和下降过程中来提高气缸驱动端的稳定性，防止出现左右晃动的情况发生，进一步大大提高了设备运行的稳定性。
- 低温泵-202211150200.6
- 苏文华;李振雨;马闯 - 杭州富芯半导体有限公司
- 2022-09-21 - 2022-12-30 - F04B37/08
- 本申请提供一种低温泵，包括第一低温吸附组件、驱动模组、第二低温吸附组件。第一低温吸附组件包括多个第一吸附孔以用于吸附气体。第二低温吸附组件包括多个第二吸附孔以用于吸附所述气体，多个第二吸附孔和多个第一吸附孔构成气体的吸附路径，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而相对于第一低温吸附组件移动。其中当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件开始吸附气体时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而远离第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件处于分离状态。
- 一种低温泵吸附阵-202221140872.4
- 张宝卷;林斌;王泽炜;陈丽 - 亚祥（宁波）低温科技有限公司
- 2022-05-12 - 2022-12-16 - F04B37/08
- 本公开提供了一种低温泵吸附阵，属于低温真空技术领域，其包括伞状堆叠的第一冷伞片、第二冷伞片，第一冷伞片居中设置有方形孔，第二冷伞片用于安装气缸，第二冷伞片与气缸的端部相连，所述第一冷伞片在平行于第一平板部方向上的投影呈等腰梯形，所述第一冷伞片与第二冷伞片形状基本相同，所述第一冷伞片、第二冷伞片设置有用于增加胶水附着力的通孔。本公开能够增加活性炭粘附面积、并且活性炭粘附较牢固，不易脱落，吸附气体不容易饱和，延长了低温泵再生周期。
- 一种惰性气体捕集低温泵-202222198347.4
- 翁警涛;姜晓源;杨川;孔宏伟;何吉贤;何静锋;张小伟 - 杭州航验环境技术有限公司
- 2022-08-20 - 2022-11-25 - F04B37/08
- 本实用新型公开的一种惰性气体捕集低温泵，固定联接在真空容器上，利用低温吸附原理，将电推进器工作时产生的惰性气体吸附走，保持真空容器的真空度，其特征在于：所述惰性气体捕集低温泵至少包括冷源、组合式法兰、多层隔热装置、冷板组件以及第一螺栓组；所述冷源与冷板组件相互固定联接，冷板组件由冷板与回温装置相联接而成，回温装置适时对冷板进行加热回温，避免试验容器开启后，在其冷板上凝结露珠，提高低温泵在多次试验时的试验效果；组合式法兰与冷源相固定联接，其主要作用在于与真空容器相联接；多层隔热装置通过第一螺栓组与冷板相联接并包覆在冷板背面，用以提高冷板制冷并吸附惰性气体的效果。
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