[发明专利]用于带电粒子晶体学的衍射仪在审
| 申请号： | 202080037920.4 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113906536A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 巩特尔·施泰因费尔德;古斯塔沃·圣蒂索奎诺尼斯;埃里克·霍弗斯特雷德特 | 申请（专利权）人： | 埃尔迪科科学股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 谭营营;胡彬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于结晶样本(31)的带电粒子结晶学，特别是用于结晶样本(31)的电子结晶学的衍射仪(1)。衍射仪(1)包括：带电粒子源(10)，用于沿着带电粒子束轴(11)生成带电粒子束；带电粒子光学系统(20)，用于操纵带电粒子束，诸如以便利用带电粒子束照射样本；以及带电粒子检测系统(50)，至少用于基于透射通过样本的带电粒子束来收集样本(31)的衍射图案。衍射仪(1)还包括用于固持样本的样本固持器(30)和可操作地耦接到样本固持器(30)用于相对于束轴(11)定位样本(31)的操纵器(40)。操纵器(40)包括用于围绕倾斜轴(44)相对于入射带电粒子束倾斜样本固持器(30)的旋转台(41)，以及用于至少在垂直于倾斜轴(44)的平面内移动样本固持器(30)的多轴平移台(42)。多轴平移台(42)可操作地耦接在样本固持器(30)和旋转台(41)之间，使得多轴平移台(42)处于旋转台(41)的旋转系统中，并且样本固持器(30)处于多轴平移台(42)的移动系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子 晶体学 衍射 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于埃尔迪科科学股份有限公司，未经埃尔迪科科学股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080037920.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
