[发明专利]基板升降异常检测装置有效
| 申请号： | 202080004521.8 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN112602188B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 砂场启佑;藤原佑挥 | 申请（专利权）人： | SPP科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够迅速且高精度地检测由基板从静电吸盘脱离时的脱离故障等引起的基板的升降异常的基板升降异常检测装置等。基板升降异常检测装置(100)具备：测定部(2)，其测定与施加于升降机构(4)的载荷具有相关性的参数；以及检测部(3)，其检测基板(S)的升降异常。检测部(3)具备使用机器学习而生成的学习模型(31)，该学习模型(31)被输入在通过升降机构(4)使基板(S)上升的过程中由测定部(2)连续地测定出的所述参数的多个测定值，并输出基板(S)的升降异常的程度。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 异常 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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