[实用新型]一种X荧光光谱仪的真空系统

摘要

本实用新型公开了X荧光光谱仪技术领域，具体为一种X荧光光谱仪的真空系统，包括样品室，所述样品室连接有导气管，所述导气管上远离所述样品室的一端并列连接有抽气管和压强平衡管，所述抽气管远离所述导气管的一端连接有真空泵，且所述抽气管的管路上固设有抽气管电磁阀，所述压强平衡管远离所述导气管的一端固设有防尘阻尼块，且压强平衡管通过防尘阻尼块与大气连通，所述压强平衡管的管路上固设有用于调节管道开度的压强平衡管电磁阀。本实用新型实现了探测器窗口不受到气压挤压且阻挡粉尘进入样品室的功能，解决了探测器窗口容易因瞬时压力破裂且粉尘容易进入样品室的问题。