[实用新型]一种反应槽内晶圆组分离装置

摘要

本实用新型涉及一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与凸轮连杆组、平台联动锁定单元连接，并通过平台联动锁定单元实现开锁分离，载具运动平台设于晶圆组运动平台之上，且在凸轮连杆组的带动下作上下运动，并将晶圆载具内的晶圆组顶出晶圆载具上方，以进入晶圆组导向单元内，晶圆组夹持单元对分离出的晶圆组进行轴向定位；本实用新型能够确保载具与晶圆组的分离过程中不会打断制程或离开制程区，使其始终位于同一区域，获得较高的洁净度或干燥度。